半导体材料

时间:2023-09-05 12:11:32编辑:资料君

半导体的主要材料为元素半导体和化合物半导体,元素半导体如硅、锗、硒等,锗和硅所有半导体材料中应用最广的两种材料;化合物半导体有二元系、三元系、多元系和有机化合物半导体,有机化合物半导体如萘、蒽、聚丙烯腈、酞菁和部分芳香族化合物等。

半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,半导体的导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内,这种材料的电导率会随温度的升高而升高。

半导体的实际运用:

制备不同的半导体器件对半导体材料有不同的形态要求,包括单晶的切片、磨片、抛光片、薄膜等。半导体材料的不同形态要求对应不同的加工工艺。常用的半导体材料制备工艺有提纯、单晶的制备和薄膜外延生长。

所有的半导体材料都需要对原料进行提纯,要求的纯度在6个“9”以上,最高达11个“9”以上。提纯的方法分两大类,一类是不改变材料的化学组成进行提纯,称为物理提纯;另一类是把元素先变成化合物进行提纯,再将提纯后的化合物还原成元素,称为化学提纯。

物理提纯的方法有真空蒸发、区域精制、拉晶提纯等,使用最多的是区域精制。化学提纯的主要方法有电解、络合、萃取、精馏等,使用最多的是精馏。由于每一种方法都有一定的局限性,因此常使用几种提纯方法相结合的工艺流程以获得合格的材料。

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